簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="拋光墊磨耗率"


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    銅膜化學機械拋光之軟拋墊磨耗率與性能分析研究
    • /109/ 碩士
    • 研究生: 廖秉鋐 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究 之目的 為 研發線上量測軟拋墊之 磨耗率 (Pad Wearing Rate, PWR)與 性能指標應用於化學機械拋光之製程 透過 先前 開 發之動態量測 拋光墊性能指標系統 以 自行研發 …
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    • 全文公開日期 2024/08/26 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/26 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/26 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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